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六氟-1,3-丁二烯

六氟-1,3-丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 六氟-1,3-丁二烯
别名 全氟丁二烯
CAS号 685-63-2
ELINCS号 211-681-0
化学式 C4F6
结构式 CF2=CF-CF=CF2
摩尔质量 162.03
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) <1
大气寿命(天) 1.1

 

物理与化学特性

化学名称 六氟-1,3-丁二烯
沸点(℃) 6
熔点(℃) -130
液体密度(@20℃) 1.44
临界温度(℃) 139.6
临界压力(bar) 31.9

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

  

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg