C4F6
六氟-1,3-丁二烯
代号C4F6，是一种新型的含氟绿色电子刻蚀气，具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点，可以实现近乎垂直的刻蚀加工，为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能；同时六氟-1,3-丁二烯环境友好，GWP<<1，大气寿命1.1天，是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。
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六氟-1,3-丁二烯
代号C4F6，是一种新型的含氟绿色电子刻蚀气，具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点，可以实现近乎垂直的刻蚀加工，为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能；同时六氟-1,3-丁二烯环境友好，GWP<<1，大气寿命1.1天，是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。
| 化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
| 别名 | 全氟丁二烯 |
| CAS号 | 685-63-2 |
| ELINCS号 | 211-681-0 |
| 化学式 | C4F6 |
| 结构式 | CF2=CF-CF=CF2 |
| 分子量 | 162.03 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <<1 |
| 大气寿命（天） | 1.1 |
| 化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
| 沸点（℃） | 6 |
| 熔点（℃） | -130 |
| 液体密度（@20 ℃,g/cm3） | 1.44 |
| 临界温度（℃） | 139.6 |
| 临界压力（bar） | 31.9 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 350 / DISS 724 | 10 kg |
| 44 L | CGA 350/DISS 724 | 45 kg |
| 926 L | QF-13 | 1000 kg |
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