EN

一氟甲烷

高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气,它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜,可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 一氟甲烷
别名 HFC-41
CAS号 593-53-3
ELINCS号 209-796-6
化学式 CH3F
结构式 CH3-F
摩尔质量 34.03
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 116
大气寿命(天) 2.8

 

物理与化学特性

化学名称 一氟甲烷
沸点(℃) -78.4
熔点(℃) -142
液体密度(@20℃) 0.61
蒸汽密度(空气=1) 1.2
饱和蒸气压(@20℃,bar) 33
临界温度(℃) 44.5

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

  

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg