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三氟碘甲烷

作为一种低GWP值的绿色环保新型干法刻蚀气体,可应用于半导体闪存芯片的前段刻蚀。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 三氟碘甲烷
别名 三氟甲基碘
CAS号 2314-97-8
ELINCS号 219-014-5
化学式 CF3I
结构式 CF3-I
摩尔质量 195.91
外观(常温常压下) 气体
颜色 无色
味道 无味
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 5
大气寿命(天) 2
TWA(8-hr) 150 ppm

 

物理与化学特性

化学名称 三氟碘甲烷
沸点(℃) -22.5
熔点(℃) -110
液体密度(@25℃) 2.096
饱和蒸气压(@20℃,MPa) 0.472
临界温度(℃) 122
临界压力(MPa) 4.04
临界体积(cm3/mole) 225
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

  

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg