EN

1,1,1,3,3,3-六氟丙烷

六氟丙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
别名 HFC-236fa
CAS号 690-39-1
ELINCS号 614-909-0
化学式 C3H2F6
结构式 CF3CH2CF3
摩尔质量 152.04
外观(常温常压下) 气体
颜色 无色
味道 无味
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 1330
大气寿命(天) 11
TWA(8-hr) 1000 ppm

 

物理与化学特性

化学名称 1,1,1,3,3,3-六氟丙烷
沸点(℃) -1.4
凝固点(℃) -103
液体密度(@20℃) 1.36
饱和蒸气压(@25℃,KPa) 272.4
临界温度(℃) 124.9
水中溶解度(@20℃) 2100
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

  

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg