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反式-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯

反式-1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯为电子工业等离子蚀刻工艺中新型蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 反式1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
别名 HFO-1336mzz(E)
CAS号 66711-86-2
ELINCS号 811-213-0
化学式 C4H2F6
结构式 CF3CH=CHCF3
摩尔质量 164.05
外观(常温常压下) 气体
颜色 无色
味道 无味
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 7
大气寿命(天) 67
TWA(8-hr) 400 ppm

 

物理与化学特性

化学名称 反式1,1,1,4,4,4-六氟-2-丁烯
沸点(℃) 7.5
冰点(℃) <-20
液体密度(@20℃) 1.31
蒸汽密度(空气=1) 5.3
饱和蒸气压(@20℃) 163.52
蒸汽导热系数(@25℃,mW/m·K) 11.5
临界温度(℃) 130.2
临界压力(bar) 36.36
临界密度 (kg/m3) 489
液体热容(25℃, kJ/kg·K) 1.383
水中溶解度(@20℃) 0.28
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

  

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 660 / DISS 716 10kg
44L CGA 660 / DISS 716 44kg
47L CGA 660 / DISS 716 47kg