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HFIB

六氟异丁烯
又名:3,3,3,4,4,4-六氟异丁烯或2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,简称:HFIB;分子式:(CF3)2C=CH2,它的ODP为0,GWP<1,是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的新型含氟电子刻蚀气之一。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 六氟异丁烯
别名 2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,HFIB
CAS号 382-10-5
ELINCS号 206-840-6
化学式 C4H2F6
分子量 164.05
ODP (CFC-11 = 1) 0
GWP100 (CO2 = 1) <1
大气寿命(天) 17

 

物理与化学特性

化学名称 六氟异丁烯
沸点(℃) 14.5
液体密度(@20 ℃,g/cm3) 1.39
水中溶解度(@20 ℃) 0.23

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10 L CGA 660/DISS 716 7 kg
44 L CGA 660/DISS 716 30 kg