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3,3,3,4,4,4-六氟异丁烯

六氟异丁烯为电子工业等离子蚀刻工艺中新型蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 六氟异丁烯
别名 2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯,HFIB
CAS号 382-10-5
ELINCS号 206-840-6
化学式 C4H2F6
摩尔质量 164.05

 

物理与化学特性

化学名称 六氟异丁烯
沸点(℃) 14.5
液体密度(@20℃) 1.39
水中溶解度(@20℃) 0.23

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg