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溴化氢

溴化氢
除了含Cl和F的气体外,溴化氢(HBr)也是一种常用的气体,当栅极氧化层的厚度小于10 nm时,用HBr等离子体,对多晶硅/Si02的刻蚀选择比高于以CI为主的等离子体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 溴化氢
别名 氢溴酸
CAS号 10035-10-6
ELINCS号 233-113-0
化学式 HBr
结构式 HBr
分子量 80.912
大气寿命(小时) 2.5
TWA(8-hr, ppm) 3

 

物理与化学特性

化学名称 溴化氢
沸点(℃) -66.38
熔点(℃) -86.8
液体密度(-84 ℃,g/cm3) 2.603
蒸汽密度(空气=1) 2.71
饱和蒸气压(21 ℃,MPa) 2.308
临界温度(℃) 89.8
临界压力(atm) 84.5
水中溶解度(20 ℃, g/ml) 1.93
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@20 ℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.999% 99.9999%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2 L CGA 350 / DISS 634 10 kg
44 L CGA 350 / DISS 634 45 kg
47 L CGA 350 / DISS 634 50 kg