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八氟环丁烷

八氟环丁烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 八氟环丁烷
别名 全氟环丁烷;R-C318
CAS号 115-25-3
ELINCS号 204-075-2
化学式 C4F8
结构式
摩尔质量 200.03
ODP(CFC-11 = 1) 3200
GWP100(CO2 = 1) 0
大气寿命(天) 10300

 

物理与化学特性

化学名称 八氟环丁烷
沸点(℃) -5.8
熔点(℃) -40.1
液体密度(-5.8℃, g/cm3) 1.637
蒸汽密度(空气=1) 7.0
饱和蒸气压(20℃,bar) 2.7
临界温度(℃) 115.3
临界压力(MPa) 2.79
水中溶解度(mg/L) 140
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.999%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 660 / DISS 716 10kg
44L CGA 660 / DISS 716 44kg
47L CGA 660 / DISS 716 47kg