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八氟丙烷

八氟丙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 八氟丙烷
别名 全氟丙烷、Freon 218、RC 218、PFC 218、R218、Flutec PP30、genetron 218
CAS号 76-19-7
ELINCS号 200-941-9
化学式 C3F8
结构式 CF3CF2CF3
摩尔质量 188.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 8830
大气寿命(年) 2600
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 八氟丙烷
沸点(℃) -36.7
熔点(℃) -183
液体密度(-36.7℃,kg/m3) 1601
蒸汽密度(空气=1) 6.683
饱和蒸气压(21.1℃,kPa) 792
临界温度(℃) 71.9
临界压力(kPa) 2680
水中溶解度(15℃, mg/L) 5.7
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 660 / DISS 716 10kg
44L CGA 660 / DISS 716 44kg
47L CGA 660 / DISS 716 47kg