八氟丙烷
八氟丙烷
代号PFC-218，化学式：C3F8，八氟丙烷为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
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八氟丙烷
代号PFC-218，化学式：C3F8，八氟丙烷为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
| 化学名称 | 八氟丙烷 |
| 别名 | 全氟丙烷、Freon 218、RC 218、PFC 218、R218、Flutec PP30、genetron 218 |
| CAS号 | 76-19-7 |
| ELINCS号 | 200-941-9 |
| 化学式 | C3F8 |
| 结构式 | CF3CF2CF3 |
| 分子量 | 188.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 9500 |
| 大气寿命（年） | 2600 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| 化学名称 | 八氟丙烷 |
| 沸点（℃） | -36.7 |
| 熔点（℃） | -183 |
| 液体密度（-36.7℃，g/cm3） | 1.6 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 6.683 |
| 饱和蒸气压（21.1 ℃,kPa） | 792 |
| 临界温度（℃） | 71.9 |
| 临界压力（kPa） | 2680 |
| 水中溶解度（15 ℃, mg/L） | 5.7 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 660 / DISS 716 | 10 kg |
| 44 L | CGA 660 / DISS 716 | 45 kg |
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