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六氟丙烯

六氟丙烯为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 1,1,2,3,3,-六氟丙烯
别名 全氟丙烯,六氟丙烯,R 1216,HFP
CAS号 116-15-4
ELINCS号 204-127-4
化学式 C3F6
结构式 CF3CF=CF2
摩尔质量 150.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 17340
大气寿命(年) >1000
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 1,1,2,3,3,-六氟丙烯
沸点(℃) -30.3
熔点(℃) -156.5
液体密度(20℃,g/ml) 1.33
饱和蒸气压(25℃,KPa) 690
临界温度(℃) 85.8
临界压力(MPa) 2.7
水中溶解度 不溶
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 10kg
44L CGA 350 / DISS 724 44kg
47L CGA 350 / DISS 724 47kg