EN

六氟丙烯

六氟丙烯
代号HFP或PFC-1216,化学式:C3F6,六氟丙烯为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 六氟丙烯
别名 全氟丙烯,R-1216,HFP
CAS号 116-15-4
ELINCS号 204-127-4
化学式 C3F6
结构式 CF3CF=CF2
分子量 150.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) <<1
大气寿命(年) 5.5
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 六氟丙烯
沸点(℃) -30.3
熔点(℃) -156.5
液体密度(20 ℃,g/cm3) 1.33
饱和蒸气压(25 ℃,kPa) 690
临界温度(℃) 85.8
临界压力(MPa) 2.7
水中溶解度 不溶
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10 L CGA 660/DISS 716 9 kg
44 L CGA 660/DISS 716 40 kg