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1,1,1,2,2,2-六氟乙烷

六氟乙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷
别名 六氟化碳, 六氟乙烷,全氟乙烷,卤碳116, PFC-116, CFC-116, R-116, Arcton 116, Halon 2600, UN 2193
CAS号 76-16-4
ELINCS号 200-939-8
化学式 C2F6
结构式 C2F6
摩尔质量 138.01
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 12200
大气寿命(年) 10000
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 1,1,1,2,2,2-六氟乙烷
沸点(℃) -78.2
熔点(℃) -100.6
液体密度(-78.2℃,kg/m3) 1608
蒸汽密度(空气=1) 4.823
饱和蒸气压(psig) 430.3
临界温度(℃) 19.9
临界压力(bar) 30.537
临界密度 (kg/m3) 623.53
水中溶解度 不溶
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.999%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 320 / CGA 660 / DISS 716 8kg
44L CGA 320 / CGA 660 / DISS 716 40kg
47L CGA 320 / CGA 660 / DISS 716 45kg