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五氟乙烷

五氟乙烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 五氟乙烷
别名 HFC 125, Khladon 125, Suva 125, Freon 125, Fc-125, R-125
CAS号 354-33-6
ELINCS号 206-557-8
化学式 C2HF5
结构式 CF3CHF2
摩尔质量 120.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 3170
大气寿命(年) 29
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 五氟乙烷
沸点(℃) -48.5
熔点(℃) -103
液体密度(-48.5 °C,g/cm3) 1.53
蒸汽密度(空气=1) 4.2
饱和蒸气压(20℃,kPa) 1414.05
临界温度(℃) 66.05
临界压力(MPa) 3.592
临界密度 (g/cm3) 0.571
水中溶解度(25 °C, mg/l) 1071
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 8kg
44L CGA 350 / DISS 724 40kg
47L CGA 350 / DISS 724 45kg