EN

四氟甲烷

四氟甲烷是无色、无臭、不燃,不溶于水的可压缩性气体。电子级四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 四氟甲烷
别名 全氟化碳、四氟甲烷、CFC 14、海龙14, R-14
CAS号 75-73-0
ELINCS号 200-896-5
化学式 CF4
结构式 CF4
摩尔质量 88.00
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 7390
大气寿命(年) 50000
TWA(8-hr, mg/m³) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 四氟甲烷
沸点(℃) -127.8
熔点(℃) -183.6
液体密度(-127.8 °C, g/cm3) 1.603
蒸汽密度(空气=1) 0.97
饱和蒸气压(15℃, MPa) 3.65
临界温度(℃) -45.5
临界压力(bar) 37.43
临界体积(dm3/mol) 0.412
水中溶解度 不溶
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性(@21℃) 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.99% 99.999%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 580 / DISS 320 7kg
44L CGA 580 / DISS 320 30kg
47L CGA 580 / DISS 320 32kg