四氟甲烷
四氟甲烷
代号PFC-14，分子式：CF4，高纯四氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的刻蚀。
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四氟甲烷
代号PFC-14，分子式：CF4，高纯四氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的刻蚀。
| 化学名称 | 四氟甲烷 |
| 别名 | 全氟化碳、四氟甲烷、CFC 14、海龙14, R-14 |
| CAS号 | 75-73-0 |
| ELINCS号 | 200-896-5 |
| 化学式 | CF4 |
| 结构式 | CF4 |
| 分子量 | 88.00 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 7490 |
| 大气寿命（年） | 50000 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| 化学名称 | 四氟甲烷 |
| 沸点（℃） | -127.8 |
| 熔点（℃） | -183.6 |
| 液体密度（-127.8 °C, g/cm3） | 1.603 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 0.97 |
| 饱和蒸气压（15 ℃, MPa） | 3.65 |
| 临界温度（℃） | -45.5 |
| 临界压力（bar） | 37.43 |
| 临界体积（dm3/mol） | 0.412 |
| 水中溶解度 | 不溶 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.99% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 320/DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | CGA 320/DISS 716 | 32 kg |
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