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三氟甲烷

三氟甲烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 三氟甲烷
别名 氟仿、Fluoryl、氟利昂23、Arcton 1、HFC-23、R-23
CAS号 75-46-7
ELINCS号 200-872-4
化学式 CHF3
结构式 CHF3
摩尔质量 70.01
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 12400
大气寿命(年) 270
TWA(8-hr, mg/m3) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 三氟甲烷
沸点(℃) -82.1
熔点(℃) -155.2
液体密度(-82.1℃, g/cm3) 1.431
蒸汽密度(空气=1) 2.417
饱和蒸气压(20℃, MPa) 4.38
临界温度(℃) 25.7
临界压力(MPa) 4.816
临界密度 (mol/L) 7.52
水中溶解度(20℃, g/L) 1
闪点(℃) 不适用(不可燃)
可燃性 不适用(不可燃)
爆炸极限(%vol) 不适用(不可燃)

 

产品规格

纯度 99.9% 99.999%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 320 / CGA 660 /DISS 716 7kg
44L CGA 320 / CGA 660 /DISS 716 30kg
47L CGA 320 / CGA 660 /DISS 716 32kg