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二氟甲烷

二氟甲烷
代号HFC-32,分子式:CH2F2,作为Si3N4 的各向异性刻蚀气体,对SiO2 及Si 选择比较低,除了作为主刻蚀剂外,还可用作其它主刻蚀剂的辅助气,调节氟/碳比。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 二氟甲烷
别名 二氟化碳, HFC-32, R32
CAS号 75-10-5
ELINCS号 200-839-4
化学式 CH2F2
结构式 CH2F2
分子量 52.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 749
大气寿命(年) 5.27
TWA(8-hr, mg/m3) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 二氟甲烷
沸点(℃) -52
熔点(℃) -136
液体密度(g/cm3) 1.1
蒸汽密度(空气=1) 3.82
饱和蒸气压(21.1 °C, kPa) 1518.92
临界温度(℃) 78.45
临界压力(MPa) 5.83
临界密度 (g/cm3) 0.43
水中溶解度(g/l) >1.68
可燃性 可燃
爆炸极限(%vol) 13-33

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

 

钢瓶规格 阀门 充装量
10 L CGA 350 / DISS 724 7 kg
44 L CGA 350 / DISS 724 30 kg