EN

二氟甲烷

二氟甲烷为电子工业等离子蚀刻工艺中重要的蚀刻气体。

产品信息概括

产品信息概括

化学名称 二氟甲烷
别名 二氟化碳, HFC-32, R32
CAS号 75-10-5
ELINCS号 200-839-4
化学式 CH2F2
结构式 CH2F2
摩尔质量 52.02
ODP(CFC-11 = 1) 0
GWP100(CO2 = 1) 675
大气寿命(年) 5
TWA(8-hr, mg/m3) 2.5

 

物理与化学特性

化学名称 二氟甲烷
沸点(℃) -52
熔点(℃) -136
液体密度(g/cm3) 1.1
蒸汽密度(空气=1) 3.82
饱和蒸气压(21.1°C, kPa) 1518.92
临界温度(℃) 78.45
临界压力(MPa) 5.83
临界密度 (g/cm3) 0.43
水中溶解度(g/l) >1.68
可燃性 可燃
爆炸极限(%vol) 13-33

 

产品规格

纯度 99.9% 99.99%

 

 

包装规格

钢瓶规格 阀门 充装量
10.2L CGA 350 / DISS 724 6.5kg
44L CGA 350 / DISS 724 30 kg
47L CGA 350 / DISS 724 31kg