C4F6
六氟-1,3-丁二烯
代号C4F6,是一种新型的含氟绿色电子刻蚀气,具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点,可以实现近乎垂直的刻蚀加工,为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能;同时六氟-1,3-丁二烯环境友好,GWP<<1,大气寿命1.1天,是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。
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六氟-1,3-丁二烯
代号C4F6,是一种新型的含氟绿色电子刻蚀气,具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点,可以实现近乎垂直的刻蚀加工,为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能;同时六氟-1,3-丁二烯环境友好,GWP<<1,大气寿命1.1天,是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。
化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
别名 | 全氟丁二烯 |
CAS号 | 685-63-2 |
ELINCS号 | 211-681-0 |
化学式 | C4F6 |
结构式 | CF2=CF-CF=CF2 |
分子量 | 162.03 |
ODP(CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100(CO2 = 1) | <<1 |
大气寿命(天) | 1.1 |
化学名称 | 六氟-1,3-丁二烯 |
沸点(℃) | 6 |
熔点(℃) | -130 |
液体密度(@20 ℃,g/cm3) | 1.44 |
临界温度(℃) | 139.6 |
临界压力(bar) | 31.9 |
纯度 | 99.9% | 99.99% |
钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
10 L | CGA 350 / DISS 724 | 10 kg |
44 L | CGA 350/DISS 724 | 45 kg |
926 L | QF-13 | 1000 kg |