HFC-41
一氟甲烷
又称氟甲烷、甲基氟，代号HFC-41，分子式：CH3F，作为Si3N4 的各向异性刻蚀气体，对SiO2及Si有较高选择比，在最前端微细结构的刻蚀制程中受到关注，用于3D NAND、DRAM以及Fin-FET半导体器件的制造。
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一氟甲烷
又称氟甲烷、甲基氟，代号HFC-41，分子式：CH3F，作为Si3N4 的各向异性刻蚀气体，对SiO2及Si有较高选择比，在最前端微细结构的刻蚀制程中受到关注，用于3D NAND、DRAM以及Fin-FET半导体器件的制造。
| 化学名称 | 一氟甲烷 |
| 别名 | HFC-41 |
| CAS号 | 593-53-3 |
| ELINCS号 | 209-796-6 |
| 化学式 | CH3F |
| 结构式 | CH3-F |
| 分子量 | 34.03 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 137 |
| 大气寿命（年） | 2.8 |
| 化学名称 | 一氟甲烷 |
| 沸点（℃） | -78.4 |
| 熔点（℃） | -142 |
| 液体密度（@20 ℃,g/cm3） | 0.61 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 1.2 |
| 饱和蒸气压（@20 ℃，bar） | 33 |
| 临界温度（℃） | 44.5 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10.2 L | CGA 350 / DISS 724 | 3 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 12 kg |
| 500 L | Routine | 130 kg |
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