HFC-236ea
1,1,1,2,3,3-六氟丙烷
代号HFC-236ea，分子式：C3H2F6，为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
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1,1,1,2,3,3-六氟丙烷
代号HFC-236ea，分子式：C3H2F6，为电子工业等离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体。
| 化学名称 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
| 别名 | HFC-236ea |
| CAS号 | 431-63-0 |
| ELINCS号 | 207-076-6 |
| 化学式 | C3H2F6 |
| 结构式 | CF3CFH2CF2 |
| 摩尔质量 | 152.04 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 1330 |
| 大气寿命（年） | 11.4 |
| 化学名称 | 1,1,1,2,3,3-六氟丙烷 |
| 沸点（℃） | 6.19 |
| 临界温度（℃） | 139.29 |
| 临界压力（bar） | 3.5 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10.2 L | CGA 350 / DISS 724 | 10 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 44 kg |
| 47 L | CGA 350 / DISS 724 | 47 kg |
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