八氟环丁烷
八氟环丁烷
又名全氟环丁烷，简称PFC-c318，分子式：c-C4F8，是一种化学性质稳定且用途十分广泛的氟碳类特种气体。在集成电路制造的刻蚀工艺和清洗工艺中有着广泛的应用。随着电子产业的快速发展，高纯八氟环丁烷的需求日益增加，尤其在深硅刻蚀、低介电薄膜刻蚀和原子尺度刻蚀工艺等领域有着巨大的应用前景。例如：在具有高深宽比的深硅刻蚀工艺中，它具有控制精度高、大区域一致性好、刻蚀垂直特性好、材料损耗低等优点，能够满足未来集成电路元器件尺寸小型化、功能性增强、存储能力增大的发展要求。
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八氟环丁烷
又名全氟环丁烷，简称PFC-c318，分子式：c-C4F8，是一种化学性质稳定且用途十分广泛的氟碳类特种气体。在集成电路制造的刻蚀工艺和清洗工艺中有着广泛的应用。随着电子产业的快速发展，高纯八氟环丁烷的需求日益增加，尤其在深硅刻蚀、低介电薄膜刻蚀和原子尺度刻蚀工艺等领域有着巨大的应用前景。例如：在具有高深宽比的深硅刻蚀工艺中，它具有控制精度高、大区域一致性好、刻蚀垂直特性好、材料损耗低等优点，能够满足未来集成电路元器件尺寸小型化、功能性增强、存储能力增大的发展要求。
| 化学名称 | 八氟环丁烷 |
| 别名 | 全氟环丁烷；R-C318 |
| CAS号 | 115-25-3 |
| ELINCS号 | 204-075-2 |
| 化学式 | c-C4F8 |
| 结构式 |  |
| 分子量 | 200.03 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 10600 |
| 大气寿命（年） | 3200 |
| 化学名称 | 八氟环丁烷 |
| 沸点（℃） | -5.8 |
| 熔点（℃） | -40.1 |
| 液体密度（-5.8 ℃, g/cm3） | 1.637 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 7.0 |
| 饱和蒸气压（20 ℃,bar） | 2.7 |
| 临界温度（℃） | 115.3 |
| 临界压力（MPa） | 2.79 |
| 水中溶解度（mg/L） | 140 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 44 L | CGA 660 / DISS 716 | 30 kg |
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