五氟乙烷
五氟乙烷
代号HFC-125，分子式：C2HF5，高纯五氟乙烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。
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五氟乙烷
代号HFC-125，分子式：C2HF5，高纯五氟乙烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。
| 化学名称 | 五氟乙烷 |
| 别名 | HFC 125, Khladon 125, Suva 125, Freon 125, Fc-125, R-125 |
| CAS号 | 354-33-6 |
| ELINCS号 | 206-557-8 |
| 化学式 | C2HF5 |
| 结构式 | CF3CHF2 |
| 分子量 | 120.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 3820 |
| 大气寿命（年） | 30.7 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| 化学名称 | 五氟乙烷 |
| 沸点（℃） | -48.5 |
| 熔点（℃） | -103 |
| 液体密度（-48.5 °C，g/cm3) | 1.53 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 4.2 |
| 饱和蒸气压（20℃，kPa） | 1414.05 |
| 临界温度（℃） | 66.05 |
| 临界压力（MPa） | 3.592 |
| 临界密度 （g/cm3） | 0.571 |
| 水中溶解度（25 °C, mg/l） | 1071 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性（@21 ℃） | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 350 / DISS 724 | 9 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 40 kg |
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