四氟甲烷
四氟甲烷
代号PFC-14,分子式:CF4,高纯四氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体,主要用作介质刻蚀,通过与其它气体混合,控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度,从而控制刻蚀深度、选择性等参数,达到理想的刻蚀效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的刻蚀。
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四氟甲烷
代号PFC-14,分子式:CF4,高纯四氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体,主要用作介质刻蚀,通过与其它气体混合,控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度,从而控制刻蚀深度、选择性等参数,达到理想的刻蚀效果。主要用于硅、二氧化硅、氮化硅、金属硅化物以及某些金属的刻蚀。
化学名称 | 四氟甲烷 |
别名 | 全氟化碳、四氟甲烷、CFC 14、海龙14, R-14 |
CAS号 | 75-73-0 |
ELINCS号 | 200-896-5 |
化学式 | CF4 |
结构式 | CF4 |
分子量 | 88.00 |
ODP(CFC-11 = 1) | 0 |
GWP100(CO2 = 1) | 7490 |
大气寿命(年) | 50000 |
TWA(8-hr, mg/m³) | 2.5 |
化学名称 | 四氟甲烷 |
沸点(℃) | -127.8 |
熔点(℃) | -183.6 |
液体密度(-127.8 °C, g/cm3) | 1.603 |
蒸汽密度(空气=1) | 0.97 |
饱和蒸气压(15 ℃, MPa) | 3.65 |
临界温度(℃) | -45.5 |
临界压力(bar) | 37.43 |
临界体积(dm3/mol) | 0.412 |
水中溶解度 | 不溶 |
闪点(℃) | 不适用(不可燃) |
可燃性(@21 ℃) | 不适用(不可燃) |
爆炸极限(%vol) | 不适用(不可燃) |
纯度 | 99.99% | 99.999% |
钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
10 L | CGA 320/DISS 716 | 7 kg |
44 L | CGA 320/DISS 716 | 32 kg |