三氟甲烷
三氟甲烷
代号HFC-23，化学式：CHF3，高纯三氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。除了作为主刻蚀剂外，还可用作其它主刻蚀剂的辅助气，调节氟/碳比。
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三氟甲烷
代号HFC-23，化学式：CHF3，高纯三氟甲烷是离子刻蚀工艺中重要的刻蚀气体，主要用作介质刻蚀，通过与其它气体混合，控制刻蚀气体的F/C比来控制刻蚀与沉积的进度，从而控制刻蚀深度、选择性等参数，达到理想的刻蚀效果。除了作为主刻蚀剂外，还可用作其它主刻蚀剂的辅助气，调节氟/碳比。
| 化学名称 | 三氟甲烷 |
| 别名 | 氟仿、Fluoryl、氟利昂23、Arcton 1、HFC-23、R-23 |
| CAS号 | 75-46-7 |
| ELINCS号 | 200-872-4 |
| 化学式 | CHF3 |
| 结构式 | CHF3 |
| 分子量 | 70.01 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 14700 |
| 大气寿命（年） | 228 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化学名称 | 三氟甲烷 |
| 沸点（℃） | -82.1 |
| 熔点（℃） | -155.2 |
| 液体密度（-82.1 ℃, g/cm3） | 1.431 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 2.417 |
| 饱和蒸气压（20 ℃, MPa） | 4.38 |
| 临界温度（℃） | 25.7 |
| 临界压力（MPa） | 4.816 |
| 临界密度 （mol/L） | 7.52 |
| 水中溶解度（20 ℃, g/L） | 1 |
| 闪点（℃） | 不适用（不可燃） |
| 可燃性 | 不适用（不可燃） |
| 爆炸极限（%vol) | 不适用（不可燃） |
| 纯度 | 99.9% | 99.999% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 660 /DISS 716 | 7 kg |
| 44 L | CGA 660 /DISS 716 | 32 kg |
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