二氟甲烷
二氟甲烷
代号HFC-32，分子式：CH2F2，作为Si3N4 的各向异性刻蚀气体，对SiO2 及Si 选择比较低，除了作为主刻蚀剂外，还可用作其它主刻蚀剂的辅助气，调节氟/碳比。
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二氟甲烷
代号HFC-32，分子式：CH2F2，作为Si3N4 的各向异性刻蚀气体，对SiO2 及Si 选择比较低，除了作为主刻蚀剂外，还可用作其它主刻蚀剂的辅助气，调节氟/碳比。
| 化学名称 | 二氟甲烷 |
| 别名 | 二氟化碳, HFC-32, R32 |
| CAS号 | 75-10-5 |
| ELINCS号 | 200-839-4 |
| 化学式 | CH2F2 |
| 结构式 | CH2F2 |
| 分子量 | 52.02 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 749 |
| 大气寿命（年） | 5.27 |
| TWA（8-hr, mg/m3） | 2.5 |
| 化学名称 | 二氟甲烷 |
| 沸点（℃） | -52 |
| 熔点（℃） | -136 |
| 液体密度（g/cm3） | 1.1 |
| 蒸汽密度（空气=1） | 3.82 |
| 饱和蒸气压（21.1 °C, kPa) | 1518.92 |
| 临界温度（℃） | 78.45 |
| 临界压力（MPa） | 5.83 |
| 临界密度 （g/cm3） | 0.43 |
| 水中溶解度(g/l) | >1.68 |
| 可燃性 | 可燃 |
| 爆炸极限（%vol) | 13-33 |
| 纯度 | 99.9% | 99.99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 350 / DISS 724 | 7 kg |
| 44 L | CGA 350 / DISS 724 | 30 kg |
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