三氟乙酰氟
三氟乙酰氟是兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一，具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点。此外，三氟乙酰氟可与其他组分混合，组成一种低GWP值的制冷剂，使得组合物的GWP≤150，从而满足碳减排、碳中和的相关要求。
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三氟乙酰氟是兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一，具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点。此外，三氟乙酰氟可与其他组分混合，组成一种低GWP值的制冷剂，使得组合物的GWP≤150，从而满足碳减排、碳中和的相关要求。
| 化学名称 | 三氟乙酰氟 |
| CAS号 | 354-34-7 |
| ELINCS号 | 206-558-3 |
| 化学式 | C2F4O |
| 结构式 |  |
| 分子量 | 116.01 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | <1 |
| 大气寿命（天） | 6.9 |
| 化学名称 | 三氟乙酰氟 |
| 沸点（℃） | -59 |
| 熔点（℃） | -159.46 |
| 液体密度（g/cm3） | 1.44 |
| 饱和蒸气压（@20 ℃，MPa） | 1.928 |
| 临界温度（℃） | 49.85 |
| 闪点（℃） | -16.5 ± 20.1 |
| 可燃性 | 可燃 |
| 纯度 | ＞99% |
| 钢瓶规格 | 阀门 | 充装量 |
| 10 L | CGA 350/DISS 724 | 5 kg |
| 47 L | CGA 350/DISS 724 | 25 kg |
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