| Chemical Name | Tetrafluoromethane |
| Other Name | Carbon tetrafluoride, Perfluoromethane, Tetrafluorocarbon, Freon 14, Halon 14, Arcton 0, CFC 14, PFC 14, R 14, UN 1982 |
| CAS Number | 75-73-0 |
| ELINCS Number | 200-896-5 |
| Chemical Formula | CF4 |
| Structural Formula | CF4 |
| Molar Mass | 88.00 |
| ODP（CFC-11 = 1） | 0 |
| GWP100（CO2 = 1） | 7490 |
| Life Time（year） | 50000 |
| TWA（8-hr, mg/m³） | 2.5 |
| Chemical Name | Tetrafluoromethane |
| Boiling Point（℃） | -127.8 |
| Melting Point（℃） | -183.6 |
| Liquid Density（-127.8 ℃, g/cm3） | 1.603 |
| Vapor Density（air=1） | 0.97 |
| Vapor Pressure（15 ℃,MPa） | 3.65 |
| Critical Temperature（℃） | -45.5 |
| Critical Pressure（MPa） | 37.43 |
| Critical Volume（dm3/mol） | 0.412 |
| Solubility in water | Insoluble |
| Flash Point（℃） | Nonflammable |
| Flammability（℃） | Nonflammable |
| Explosive Limit（%vol) | Nonflammable |
| Purity | 99.9% | 99.999% |
| Cylinder Size | Valve Type | Filling Weight |
| 10.2 L | CGA 580 / DISS 320 | 7 kg |
| 44 L | CGA 580 / DISS 320 | 30 kg |
| 47 L | CGA 580 / DISS 320 | 32 kg |
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